水冷系統主要包括水流量計和水壓表。該結構為冷壁結構,即爐墻加熱過程中產生的熱量可由兩層爐墻之間的循環水帶走,不間斷,防止爐墻過熱。應在每個入口安裝水流量計,以確??梢杂^察到每個水循環的狀態??刂葡到y一般包括:PLC、溫度計、真空表、無紙記錄儀、低壓電器、工控機、模擬板等,PLC的功能是控制和傳輸我們需要的每一個動作的指令。它是總控制中心。溫控儀主要用于加熱保溫過程中的溫度調節,以達到我們需要的溫度。真空度是衡量真空爐性能的重要指標。真空計是測量真空度的傳感器。真空表是顯示和控制部分。真空計通過電信號將測量的真空值傳送給真空計。真空計將電信號轉換成相應的真空數字值并顯示出來。一些真空計還可以輸出自動控制信號。真空計可分為電離計和電阻計。電離計能準確測量1pa以下的真空,電阻計能準確測量1pa以上的真空。
真空系統主要包括機械泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵、真空閥和電磁壓差閥。機械泵分為旋轉葉片泵和滑閥泵,可分別使用。羅茨泵是兩級泵。不能單獨使用。它必須有一個前級泵。擴散泵和分子泵抽氣極限壓力較小,可以使抽氣容器達到較高的真空度。泵的抽速一般是根據抽氣量的大小和極限真空度來選擇的。真空閥的主要功能是分離或連接真空爐內外,使真空爐在泵停止工作期間保持真空狀態。
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